《微机电系统》

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微机电系统- 第2部分


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大家一个很感性的认识,就是我们这个MEMS的器件,这个系统,为什么具有非常强大的生命力。 

第二个方面我们要谈到,有些场合它必须要微型尺寸,大了就不行。这个日本通产省,从1991年开始,展开了一项耗资250亿日元的研究计划。这个里面,有两个目标样件,分别是可以进到电厂设备内部去进行非破坏性检测维修,这样的微小机器人。还有一个,是可以进入人体血管,进行病情诊断和治疗的微型系统,日本政府已经起动了这两个研究的项目。那么在这样狭小的空间里面,是我们传统的办法根本无法实现的。在这种场合下面,所以我们必须要求它(微型)。 

另外,微型化后在行为发生的机理和表现的效能看,它还有许多意想不到的优点。这个我们可以再来举一个例子。从它们承载能力看,就是相对承载能力,微型的器件比我们宏观的器件的承载能力会高很多。为什么呢?这个我们举一个很通俗的例子。右上角一个蚂蚁它能够搬动一个,比它身体还要大得多的一个载荷,但是你让一个大象要抬五个大象起来,它肯定抬不了。那么它的原理在什么地方?可能大家学到,如果是机械制造的领域,还有一些物理领域就知道,叫做尺度效应、尺寸效应,scaling effect,它这个就是尺度效应一个很重要的具体的表现。 

第二个特点,它抗破坏的能力很强。大家知道,如果把一个蚂蚁或一个小昆虫,从很高的地方把它放下来,很少有把它跌死的,它跌不死,小昆虫。但是我们人要是从这个几米高掉下来,我看反正够呛。那什么原因呢?就是本身小的东西承载能力就增强了。第二个整体尺寸。我们不说蚂蚁了,我们说材料,它整体尺寸的缩小会减低这个结构的缺陷的总数量,缺陷的总数量降低了,只有毫米见方的一个硅的芯片,要比整个四英寸的硅盘,这个圆盘,它的抗击打能力要强得多。 

第三个方面,微型器件做得越小,它的固有频率就越高。它可以感知的外部信号的范围就更大。质量越小、频率越高,这是我们自然界的已经是一个很重要的规律了。比如说苍蝇和蜜蜂,它翅膀振动的频率可以很高,每秒钟可以振二百次,黄蜂可以每秒钟振到上千次,但是你要叫老鹰振上千次,它就完了,它大,它振不了。 

你比如说现在的电子助听器,电子助听器是一个很大的市场,它里面那个感知原件,很重要的,声音接受了以后,怎么把它放大,靠感知元件,它现在主要就是用MEMS技术来制造的,做得很微小的这个助听器,现在也是技术含量很高,声音非常非常清晰,那么它的振动频率可以到百千赫兹以上。所以它可以很清晰地来感知到20千赫以下的声音振动的信号,就是超音波以下的声音,它完全没有问题,它可以很真实地还原出来,所以我们就看到了这个优点。 

那么最后一点,我们现在采用的这个微机电系统,我们希望在相关子系统上面,都运用我们MEMS的技术,能够使它大大地缩小,而性能基本上都能够具备原来的性能,这样子我们就可以来构建一个比较小的复杂系统。这个左边是美国一家公司研制的,跟手掌这么大的微型飞机,这个微型飞机已经可以在空中飞行30分钟,距离可以达到几公里。微型飞机现在进行研究的,和我们航模的遥控是不一样。遥控是在可视距离里头,是由操纵手来操纵,看到你这个飞机是可以的,叫它左飞、右飞、上飞、下飞。微型飞机它是有智能的,它是自主来飞行的,这是一个很大的差别。我们航模飞机也可以做得比较小,但是它还不是真正意义上的微型飞机。就象这种系统就很复杂。 

我们来谈一谈微机电系统,它怎么样来发挥它的作用,有什么途径。我们感觉现在是两种途径。 

一种途径,就是我们通过MEMS发展的这种技术、这种产品,用于替代我们原来的传统的这些产品,借助微型化来改善我们原来产品的功能,这是一个很重要的途径。比如说在汽车行业里面,基于我们现在所说的微机电技术的微型加速度器,现在大量地取代了传统的安全气囊控制的系统。那么传统的加速度计是分立的,一般是装在汽车的最前面,然后用线路把它连到我们的控制系统,然后再和气囊连起来。这样子的一套设备,一个控制上面、时间上面,它因为分立比较滞后。另外,它的价格一般都在几十美元到上百美元,还不是很精密的加速度计,很出名的是丹麦的BK加速度计,它是很贵。那么用MEMS技术加工的加速度计非常得小,而且它是浑然一体,一个整体,非常小,装在上面,不需要专门的连接。它的重量轻、价格低,每套不到10个美元,对于大批量生产的公司来讲,这是一个很重要的数据。 

第二个,我介绍一下,就是形成新的产品。就是MEMS技术,还给我们开拓了一个新的领域,也许是以前我们根本就没有知道的一个领域,或者我原来就根本没有这样的产品,那么这个,我们可以看一看,从1990年开始实施的人类基因组的计划,当时从制定计划的时候,希望在十几年内,要测定人类基因组全部的DNA的序列,并且要绘出基因的谱图,那么这个对人类的生命研究,对身体健康,具有很大的意义。一直到1998年,世界上的研究人员用了近10年的时间,才完成了不到6%这样的工作量。 

到了1998年人类发明了毛细管电泳的生物芯片,这个芯片问世以后,在不到两年的时间内,科学家们就完成了剩余的94%的工作。所以2000年的6月,美、中、日、英、法、德六国科学家,向世界公布了人类基因组工作的草图,这个里面,就是生物芯片的问世起到了极其重要的作用。那么生物芯片就是通过MEMS加工技术,在固体芯片的表面上面,我们构件了微流体的分析单元和系统,能够实现对于基因、蛋白质,还有其它生物组分的准确、快速和大量的信息测试。 

姜澄宇:那么微机电系统既然是这么样有用,这么样有广阔的前景,我们自然要问一个问题,这么小的系统,我们很难想象,什么60微米的电机、转轴,怎么做出来的?这个想法的起源是1959年,上一个世纪的中叶,有一个著名的物理学家叫理查德·菲尔曼,他是诺贝尔奖金的获得者,他在加州工学院一个著名的演讲里面,首先提出了发展微型器件和微技术这样的一个设想。 

那么1961年的时候,第一个硅压力的传感器问世了,这表明了硅这种材料,不但可以做微电子的材料,而且可以做微机械的结构材料。1967年,表面微加工的技术问世了,就是surface micro machining,这个技术问世了。它能够在硅机底上面形成有活动自由度的微型结构,我们在硅上面能制造出一些微型的细小结构。1970年,第一个硅微加速度计问世。1979年,惠普公司开发第一个由微加工得到的喷墨头,现在打印机的喷墨头,上面有很多很多的微细小孔,而且什么时候喷,什么时候不喷,哪个孔喷,哪个孔不喷,这是很复杂的一个技术,现在大家用起来觉得很自然了,其实这里面很有学问。1992年,美国北卡罗莱纳微电子中心,产生了一套标准化的表面微加工工艺,这是我们对微加工技术,逐步逐步地前进。 

我们现在可以回顾一下说,以美国为代表的这种技术,实际上是从集成电路加工的技术、体加工技术、表面加工技术和键合技术,发展成为我们目前来制造微机电系统的主要手段。 

1982年在德国诞生了一个所谓的叫做LIGA技术,实际上就是通过X光的光刻、电铸和注塑,这个技术有一个很大的特点,它可以制造具有很大的深宽比的微机械结构。我们普通的光刻,刻不了非常深,它可以刻得很深,一个表面的图形它可以一直往下面刻,通过X光来实现,这个办法,所以这个技术也是非常有用的。 

第三个是以日本为代表的。日本人从九十年代开始,提出的发展思路,跟美国、跟德国不一样。它怎么说呢,它是用大机器制造小机器,小机器制造微机器,他走的这个路。但是它也有特色,因为用那几种办法呢,我们很难做到很细小的,比如说是金属的微小的零件,日本的这种办法可以做得很小。这个是日本人,用大机器做小机器的办法,做了一台小车床,这个小车床是一个厘米见方,这很小了,水平已经是相当高。右边这个是日本的一些高校,他们研发的一个叫做光诱导微机器人,这个机器人也很小,你看它比一个硬币还要小。这个机器人有98个微零件,很不容易。你说这么小的东西里面98个微零件,还要进行微装配,这个水平也是很高的。 

那么现在还有一种就是,从底层往上层做,怎么办呢?它实际上用专门的仪器,比如说原子力仪,用这个仪器来操纵分子和原子,来形成微机构,就是我把分子这个往这儿堆,这个往那儿堆,就像砌墙一样的,这个分子是一块砖,那个是一块瓦,然后这个是水泥,怎么样子把它弄起来,这就是从底层往上做的一种办法。当然现在这个办法要形成一些很有用的东西,还要有一段路程。 

第四个方面我想介绍一下,做一些展望,既然说这是一个小精灵,确实是一个小精灵,它能够做很多原来我们所不能做的事情,或者比以前做得更好,这么多的事情。但是我觉得很多的老百姓,他们还会有一个误解,他们觉得微机电系统好像是非常地高深,仅仅是学术研究里面的阳春白雪。实际上我们身边,很多地方已经在用了,可能大家还没有意识得到,但是这些微系统往往不是作为一个整体的产品来进行使用的,就好比一个冰箱、一个洗衣机给你拿来就可以这样用。它往往是作为一个大系统的一个组成部分,它把它的特定功能贡献给了完整功能的一个大系统,完成了一个非常好的功能,它

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